振鏡式Nd :YAG固體激光打標機由如下九個部分組成：激光電源、Nd、冷卻系統(tǒng)、聲光調(diào)制系統(tǒng)、振鏡掃描系統(tǒng)、指示光系統(tǒng)、準直聚焦系統(tǒng)、工作臺、計算機控制系統(tǒng)。

(1)激光電源:是激光泵浦源(氪燈或半導體激光二極管陣列)的電力提供系統(tǒng)。

(2)Nd:YAG激光器諧振腔系統(tǒng):產(chǎn)生加工所需的連續(xù)激光束。

(3)冷卻系統(tǒng):連接到冷水機的水管分別對聚光腔或半導體泵浦模塊、聲光Q驅(qū)動開關(guān)進行冷卻，使激光標刻機能更穩(wěn)定、更高效地工作。

(4)聲光調(diào)制系統(tǒng):將連續(xù)的激光調(diào)制成所需的高峰值脈沖激光(頻率為200Hz~50kHz),由于Q開關(guān)器件的插人損耗，激光器的平均輸出功率有所下降，但峰值功率大大提高，從而改善激光標刻的效果。

(5)振鏡掃描系統(tǒng):包括光學掃描器和伺服控制兩個部分，是使激光按照預定軌跡運行的執(zhí)行機構(gòu),它主要由高精度伺服電動機、電動機驅(qū)動板卡、反射鏡及直流電源組成。其作用是產(chǎn)生需標刻的點、線形式的字符或圖案。

(6)指示光系統(tǒng):指示光為紅色光，安裝于光具座的后端。早期多用He Ne激光器作指示紅光光源，現(xiàn)多用紅光二二 極管激光器。指示光的主要作用是指示激光加工位置(與Nd:YAG激光同軸)和為光路調(diào)整提供指示基準。

(7)準直聚焦系統(tǒng):固體激光標刻機先使用倒置望遠鏡系統(tǒng)進行準直擴束,然后用一種特殊的透鏡聚焦系統(tǒng)，稱為平場透鏡系統(tǒng)或F-0聚焦系統(tǒng),對激光進行勻光和普通聚焦。

(8)工作臺:加工工件的承載臺。固體激光打標機工作臺一般為手動三維工作臺，若有圓柱或圓盤工件標刻要求，還可選配旋轉(zhuǎn)工作臺。